第一章 概述

1.1 范圍

此標(biāo)準(zhǔn)適用于所有本篇所定義之無塵室及潔凈區(qū)之半導(dǎo)體廠。

1.2 目的

本標(biāo)準(zhǔn)旨在提供無塵室避免火災(zāi)及相關(guān)危害合理的安全防護(hù),而這些防護(hù)措施可避免或減少 人員及財(cái)產(chǎn)之損害。

1.3 應(yīng)用

此標(biāo)準(zhǔn)所考慮是以合理的預(yù)防火災(zāi)及爆炸,避免造成人員傷亡及財(cái)產(chǎn)之損害,此時(shí)所需考慮之 環(huán)境狀況及活動(dòng)狀態(tài)為本標(biāo)準(zhǔn)所討論之重點(diǎn);除非其它地方有所規(guī)范,否則本標(biāo)準(zhǔn)不用于要求已經(jīng)安裝完成設(shè)備除非在該狀態(tài)下已造成生命危害或鄰進(jìn)近地區(qū)之財(cái)產(chǎn)損失。

1.4 名詞定義

§ 高架地板系統(tǒng)(Access Floor System)
配電盤架設(shè)于基座上以提供地面下空間供安裝機(jī)械通訊或作為供風(fēng)或回風(fēng)空間。

§ 管轄權(quán)(Authority Having Jurisdiction)
組織部門或個(gè)人負(fù)責(zé)對(duì)設(shè)備安裝或制程之認(rèn)可,在NFPA, 管轄權(quán)會(huì)隨區(qū)域有所變化,可能是聯(lián)邦,州,地區(qū)或地區(qū)部門，或個(gè)人可能是消防首長(zhǎng),副首長(zhǎng),州消防局長(zhǎng)機(jī)動(dòng)小組或衛(wèi)生局營建部門及其它經(jīng)法律授權(quán)的單位。
保險(xiǎn)公司亦有檢查權(quán)，原設(shè)計(jì)或擁有者亦有此權(quán)利。

§ 潔凈區(qū)(Clean Zone)
定義為區(qū)間內(nèi)之空氣中之灰塵粒子濃度控制在一定的范圍內(nèi)。

§ 無塵室(Clean Room)
定義為房間內(nèi)之空氣中之灰塵粒子濃度控制在一定的范圍內(nèi)。

§ 壓縮氣體(Compressed Gas)
于容器中之任何氣體或混合氣體其在70OF(21.1℃)時(shí),絕對(duì)壓力大于40psi(275.8Kpa)；或這在70 OF時(shí)絕對(duì)壓力小于40psi,但在130OF(54.4℃)時(shí)其壓力大于104psi;或易燃性氣體在100 OF (37.8℃)時(shí),其蒸氣壓大于40psi稱為壓縮氣體。